LAM Research 810-091934-00是用于LAM半导体蚀刻和沉积系统的气体管路过滤器。它是LAM 810系列气体管路过滤器的一部分,旨在去除工艺气体中的污染物,以确保高质量的晶圆处理。810-091934-00专门过滤六氟化硫(SF6),这是一种常用于蚀刻和沉积工艺的气体。
LAM Research 810-091934-00气体管路过滤器的主要特点:
高效过滤:高效去除SF6气体中的污染物,确保工艺气体纯度。
延长过滤器寿命:延长过滤器寿命,降低维护成本,增加正常运行时间。
坚固的设计:采用坚固的设计,可在苛刻的半导体制造环境中可靠运行。
易于安装和维护:设计易于安装和维护,可最大限度地减少停机时间。
LAM专业知识:由LAM Research在半导体工艺气体过滤方面的专业知识提供支持。
技术规格:
制造商:LAM Research
型号:810-091934-00
产品类型:气体管路过滤器
过滤气体:六氟化硫(SF6)
过滤效率:高效去除污染物
过滤器寿命:延长过滤器寿命,减少维护